等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，常被视为是除 去固、液、气体外，物质存在的第四态。低温等离子设备与传统的方法相比，等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、无污染等显著的优点，同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果。现在低温等离子设备广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭 菌及污染治理等多种领域。
低温等离子设备处理污染物的原理：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激 发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安 全物质，或使有毒有害物质转变成无 毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去 除。因其电离后产生的电子平均能 量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极 强优势的高新 技术，等离子体受到了国内外化工废气治理方面的高度评价。
低温等离子设备技术特点
1、处理范围广泛,基本不受气温和污染物成分的影响
2、无需再 生处理原料，不产生二次污染
3、气体通过部分，电极与废气不直接接触,设备耐腐蚀能力极 强
4、设备启动、停止十分迅速，随用随开，可大量的节约能源
5、运行成本较低，部分高浓度废气可以通过空气稀释后用该技术处理
随着工业经济的不断发展，工业生产中所产生的挥发性有 机废气也日将增多，降解挥发性有 机污染物传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子设备处理VOCs可以不受上述条件的限制，并广泛应用于石油、制药、油漆、印刷和涂装行业
