等离子体是物资的一种状况，也叫做物资的第四态，并不属于习见的固液气三态。
对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状况。
等离子体的“活性”组分包含：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。
等离子干净机就是通过应用这些活性组分的性质来处置样品概况，从而实现干净、涂覆等目标。
洗涤原理
等离子体是物资的一种存在状况，凡是物资以固态、液态、气态三种状况存在，但在一些特别的情形下有第四种状况存在，如地球大气中电离层中的物资。
等离子体状况中存在下列物资：处于高速活动状况的电子；处于激活状况的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反映的分子、原子等，但物资在总体上仍坚持电中性状况。
在真空腔体里，通过射频电源在必定的压力情形下起辉发生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被 洗涤产品概况.以到达 洗涤目标.
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