是借助催化剂在低温(200～400℃)下，实现对可燃物的完全氧化，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化燃烧过程中，催化剂的作用是降低活化能，而催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子在催化剂表面富集，从而提高反应速率，加快反应速度。有机废气在催化剂的作用下，可以在较低的点火温度下无焰燃烧，氧化成CO2和H2O。同时，大量的热能被释放出来净化废气。
采用的多单元分流组合式吸附床, 假设吸附床有n 个单元, 刚开始时是第1～第(n- 1)个单元在吸附, 第n个单元在脱附后, 切换为第 2～第n个单元在吸附, 第1个单元在脱附;如此反复循环运行。 这样一方面保证生产的连续性,另一方面利用多单元的循环交替切换可使吸附剂用量大大减少, 不但使吸附床的体积大大减少, 而且高价炭纤维因使用量少也不会造成造价高的问题, 因此设备重量轻, 投资小, 占地少, 结构紧凑。
其净化作用机理包含等离子体中包含大量的高能、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。有机当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成的无害气体分子。同时产生大量的OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，最终生成无害产物。
根据废气浓度的含量不同，脱附时间也不同。活性炭的脱附过程都是在线脱附，就是当活性炭饱和后设备会自动进行脱附，不需要有人去经常查看，节省了人工费用。活性炭进行脱附时会根据箱体的多少进行三吸一脱或者是四吸一脱等，就是脱附的时候并不是全部脱附，只有一个箱体在脱附，其余的箱体仍然在工作。这样是不会耽误工厂使用的。
RCO蓄热式催化燃烧法的热回收方式属于热再生型(Thermal Regenerative)，是利用陶瓷材料的高热传导系数特性作为热交换介质，以得到较完整的热能传导率。将含恶臭气体或VOCs的废气，在通过一个回 收废热的陶瓷填充床预热后，其废气温度几乎达到催化室设定温度，并使污染物产生氧化作用，然后导入加热室升温，并维持在设定温度，以达到预定的去除效率， 经催化处理后的废气导入其它的陶瓷填充床，回收热能后排到大气中，其排放温度仅略高于废气处理前的温度。所有的陶瓷填充床均做加热、催化净化、蓄热冷却的 循环步骤。该技术具有净化效率高、运行费用低的特点。
催化燃烧是有机物在气流中被加热,在催化床层作用下,加快有机物化学反应(或破坏效率的方法 ) ,催化剂的存在使有机物在热破坏时比直接燃烧法需要更少的保留时间和更低的温度。催化剂在催化燃烧系统中起着重要作用。用于有机废气净化的催化剂主要是金 属和金属盐 ,金属包括贵金属和非贵金属。目前使用的金属催化剂主要是 Pt、 Pd,技术成熟 ,而且催化活性高 ,但价格比较昂贵而且在处理卤素有机物 ,含N、 S、 P等元素时 ,有机物易发生氧化等作用使催化剂失活。非金属催化剂有过渡族元素钴、 稀土等。近年来催化剂的研制无论是国内还是国外进行得较多 ,而且多集中于非贵金属催化剂并取能得了很多成果。例如V2O5 +MOX (M:过渡族金属 ) +贵金属制成的催化剂用于治理甲硫醇废气 , Pt + Pd + Cu催人剂用于治理含氮有机醇废气。
专业有机废气催化燃烧成套设备性能特点：1、吸附效率高,能力强；2、能够同时处理多种混合有机废气；3、设备构造紧凑，占地面积小，维护管理简单，运转成本低廉；4、采用自动化控制运转设计，操作简易、安全；5、全密闭型，室内外皆可使用。