作为一种新型的气体污染物处理技术和设备，低温等离子体工业废气处理厂家技术是一项集物理、化学、生物、环境科学于一体的交叉集成电子化学技术，由于其具有易于污染物分子分解、处理能耗低等特点，是国内外具有发展前景和应用前景的大气污染控制技术之一。该技术应用广泛，推广前景广阔，为VOC有机废气、工业恶臭气体的治理提供了新的思路。
1、主要采用脉冲高频高压等离子电源和双介体齿板放电装置，端放电方式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集物质，它的高能电子能够在数毫秒内瞬间穿透空气和排出的分子，引起一系列的分化和裂化反应，产生高度集中、高强度、高能量的活化自由度。碱类与各种电子、离子等与机械废气中的分子发生一系列物理和化学反应，在反应过程中产生各种活性自由基和生态氧，即臭氧由原子氧产生。
2.活动性自由基能有效破坏各种病毒和细菌的核酸和蛋白质，使其无法进行正常的新陈代谢和生物合成，从而导致其死亡；在血浆中，生态氧能迅速含有大量有机废气分子。高能量的电子，正、负离子，激发态的粒子，以及具有强氧化性的后型自由基。这种活性颗粒与一些废气分子碰撞，同时产生大量的OH、HO2、O等活性自由基和较强氧化O3，能与有害气体分子发生化学反应，生成无害的产物。