真空泵多个导程的真空泵相当于多级泵串联，因各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
真空泵的泵腔内完全无油，因此真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性，可较好替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用，多个导程的真空泵相当于多级泵串联，因各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
压缩空气驱动真空泵使用注意事项：(1)放置真空泵的场地周围要干燥、通风、清洁。
(2)真空泵与制冷系统连接的加氟管要尽量短一点，以避免出现打折等问题，影响使用。
(3)使用中要观察加氟管与真空泵进气口的接口处是否有漏气现象。
(4)真空泵停止使用时，要将其进气口和出气口用塑胶塞塞好，以免空气与灰尘进入泵中影响其使用。
(5)每次使用真空泵前要检查泵中的润滑油油位是否符合要求，以保证其安全使用。
压缩空气驱动真空泵安装前应注意：1、安装前应检查包装箱是否完整无损，并检查机组有无损坏。
开箱后机组的搬运安装工作要按有关搬运注意事项严格进行。
2、真空泵安装场所的选定非常重要。
使用者往往在真空泵购置后就随便找个位置，配管后立即使用，根本没有事前的规划。
殊不知如此草率的操作，将造成日后真空泵故障、维修困难等的后果。